半導(dǎo)體芯片制造工半導(dǎo)體制造技術(shù)章節(jié)練習(xí)(2019.05.09)

來源：考試資料網(wǎng)
參考答案：①交換式：兩相鄰原子由于有足夠高的能量，互相交換位置。②空位式：由于有晶格空位，相鄰原子能移動過來。③填隙式：在空隙中的...
參考答案：寄生電阻和寄生電容造成的延遲。電子在導(dǎo)電過程中會撞擊導(dǎo)體中的離子，將動量轉(zhuǎn)移給離子從而推動離子發(fā)生緩慢移動。該現(xiàn)象稱為電...
參考答案：硼退火特性電激活比例：自由載流子數(shù)p和注入劑量Ns的比對于低劑量的情況，隨退火溫度上升，電激活比例增大。對于高劑量情況，...
參考答案：非對稱性常用偏斜度γ（skewness）表示：γ為負(fù)值表明雜質(zhì)分布在表面一側(cè)的濃度增加，即x＜R...
參考答案：1）銅在SiO2中極易擴散，造成對硅器件的沾污：增加SiO2的漏電流；增加結(jié)...
參考答案：光學(xué)放射頻譜分析是利用檢測等離子體中某種波長的光線強度變化來達(dá)到終點檢測的目的。光強的變化反映了等離子體中原子或分子濃度...
參考答案：結(jié)晶形SiO2——由Si-O四面體在空間規(guī)則排列構(gòu)成每個頂角的O原子與兩個...
參考答案：幾種典型的真空泵結(jié)構(gòu)：①活塞式機械泵；②旋片式機械泵；③增壓器——羅茨泵；④油擴散泵；⑤渦輪分子...
參考答案：溝道效應(yīng)：對晶體靶進(jìn)行離子注入，當(dāng)離子速度方向平行于主晶軸時，將很少受到核碰撞，離子將沿溝道運動，注入深度很深。由于溝道...