互連、接觸、栓塞
注氧隔離技術(shù)、鍵合減薄技術(shù)、智能剝離技術(shù)。
工序目的:去除表面因加工應(yīng)力而形成的損傷層及污染
MOS管有多層介質(zhì):在柵極電極的下面有一層SIO2介質(zhì)SIO2下面是P型襯底,襯底比較厚襯底電極同襯底之間必須是歐姆接觸
電源線上和版圖空余地方