問答題

【簡答題】簡述化學氣相淀積的原理?

答案:①氣態(tài)反應劑被輸送至反應腔,以平流形式向出口流動。
②反應劑從主氣流區(qū)以擴散方式通過邊界層到達硅片表面。
題目列表

你可能感興趣的試題