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【簡答題】試對比分析擴散工藝和離子注入工藝的特征和特點。
答案:
擴散是高溫工藝,需要SiO
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這樣的耐高溫硬掩膜,其擴散形成的結(jié)深較深。擴散是各向同性的,因此有較大...
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【簡答題】請闡述擴散的局限性。
答案:
與離子注入工藝相比,擴散工藝的局限性在于:
1)擴散是各向同性的,其掩膜下方會有嚴(yán)重的橫向擴散效應(yīng),因而不適于...
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