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問答題
【簡答題】請闡述擴散的局限性。
答案：
與離子注入工藝相比，擴散工藝的局限性在于：
1）擴散是各向同性的，其掩膜下方會有嚴重的橫向擴散效應，因而不適于...
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問答題
【簡答題】實際氧化工藝為什么要采用先干氧、再濕氧、最后再干氧的氧化方法？
答案：
干氧的氧化速率最慢，但其氧化層質量最好。濕氧的氧化速率快，但其氧化層質量不如干氧工藝。實際氧化工藝多采用干氧-濕氧-干氧...
