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答案：真空蒸鍍鋁膜通過(guò)襯底加熱和襯底旋轉(zhuǎn)來(lái)改善其臺(tái)階覆蓋特性。磁控濺射通過(guò)提高襯底溫度，在襯底上加射頻偏壓，采用強(qiáng)迫填充技術(shù)，...

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