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【簡答題】簡述濕法腐蝕相比干法刻蝕的優(yōu)點

答案：

（1）對材料具有高的選擇比
（2）不會對器件帶來等離子體損傷
（3）設備簡單

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【簡答題】簡述負載和微負載效應的概念
答案：負載效應：要刻蝕硅片表面的大面積區(qū)域，則會耗盡刻蝕劑濃度使刻蝕速率慢下來；如果刻蝕的面積比較小，則刻蝕會快些
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