問答題

【簡答題】目前有哪些納米加工技術(shù)?LIGA技術(shù)的原理是什么?

答案: 1)光刻電鑄(LIGA)技術(shù);
2)半導(dǎo)體加工技術(shù);
3)集成電路(IC)技術(shù);
4)超微...
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【簡答題】簡述微系統(tǒng)的基本特征和關(guān)鍵技術(shù)。

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【簡答題】超精密加工的發(fā)展趨勢如何?有哪些主要的技術(shù)?

答案: 發(fā)展趨勢:高精度,原子級精度的加工。大型化,滿足航天航空、電子通信等領(lǐng)域的需要。微型化,以適應(yīng)微型機械、集成電路的發(fā)展。...
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