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問答題
【簡答題】簡述微系統(tǒng)的基本特征和關鍵技術。
答案：
特征：體積小，重量輕，耗能低，性能穩(wěn)定，有利于大量生產(chǎn)，降低生產(chǎn)成本，慣性小，諧振頻率高響應時間短，集約高技術成果，附加...
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問答題
【簡答題】超精密加工的發(fā)展趨勢如何？有哪些主要的技術？
答案：
發(fā)展趨勢：高精度，原子級精度的加工。大型化，滿足航天航空、電子通信等領域的需要。微型化，以適應微型機械、集成電路的發(fā)展。...
問答題
【簡答題】簡述電子束加工技術的原理和應用。
答案：
原理：利用陰極發(fā)射電子，經(jīng)加速，聚焦，成離子束，直接射到放置于真空室中的工件上，其能量密度集中在5-10μm的斑點...
