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【簡答題】簡述正膠和負(fù)膠顯影效果
答案:
正性光刻膠:曝光區(qū)域溶解于顯影液,顯影后圖形與掩模版圖形一樣
負(fù)性光刻膠:曝光區(qū)域不溶解于顯影液,顯影后圖形與...
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答案:
概念:一種有機(jī)化合物,受紫外光曝光后,在顯影液中的溶解度會(huì)發(fā)生變化
目的:
(1)將掩模版圖案轉(zhuǎn)移到...
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【簡答題】簡述離子注入設(shè)備的五個(gè)主要子系統(tǒng)
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