a.體刻蝕加工對基體材料進(jìn)行加工,而面刻蝕加工不對襯底材料進(jìn)行加工; b.體刻蝕加工不對基體材料進(jìn)行加工,而面刻蝕加工對襯底材料進(jìn)行加工; c.體刻蝕加工可獲得高縱橫比的結(jié)構(gòu),而面刻蝕加工只能獲得較低縱橫比的結(jié)構(gòu);
A.頂面 B.主軸承孔 C.底面 D.側(cè)面
A.集中控制方式 B.主從控制方式 C.分散控制方式 D.點(diǎn)位式
a.離子束刻蝕、激光刻蝕 b.干法刻蝕、濕法刻蝕 c.濺射加工、直寫加工
A.①氧化②沉積③曝光④顯影⑤還原⑦清洗 B.①氧化②涂膠③曝光④顯影⑤去膠⑦擴(kuò)散 C.①氧化②涂膠③曝光④顯影⑤去膠⑦還原