集成電路制造工藝員單項(xiàng)選擇題每日一練(2019.08.13)

來源：考試資料網(wǎng)

1 （）由鐘罩、蒸氣源加熱器、襯底加熱器、活動(dòng)擋板和底盤構(gòu)成。

2 真空鍍膜室中的鐘罩與底盤構(gòu)成（）。

3 銅與氯形成的化合物揮發(fā)能力不好，因而銅的刻蝕無法以化學(xué)反應(yīng)來進(jìn)行，而必須施以（）。

4 檢驗(yàn)水中是否有鹽酸，可用（）溶液滴入水中，如果出現(xiàn)白色沉淀，就表示水中有鹽酸。

5 真空鍍膜室內(nèi)，在蒸發(fā)源加熱器與襯底加熱器之間裝有活動(dòng)擋板，用來（）。