①金屬-絕緣體-金屬(MIM)結(jié)構(gòu);
②多晶硅/金屬-絕緣體-多晶硅結(jié)構(gòu);
③金屬叉指結(jié)構(gòu);
④PN結(jié)電容;
⑤MOS電容。
(1)機(jī)械支撐和機(jī)械保護(hù)作用。
(2)傳輸信號(hào)和分配電源的作用。
(3)熱耗散的作用。
(4)環(huán)境保護(hù)的作用。
(1)擦洗表面的大塊污物;(2)浸泡;(3)化學(xué)腐蝕;(4)水清洗;(5)干燥。