A.Cl2 B.BCl3 C.CO2 D.H2
A.恒定總摻雜劑量 B.不恒定總摻雜劑量 C.恒定雜志濃度 D.不恒定雜志濃度
A.重要步驟 B.次要步驟 C.首要步驟 D.不一定
A.蒸鍍 B.離子注入 C.濺射 D.沉積