A.點缺陷 B.線缺陷 C.面缺陷 D.缺失的點
A.錫 B.硫 C.硼 D.磷
A.光學曝光 B.離子束曝光 C.接近式曝光 D.電子束曝光 E.投影式曝光
A.分力之和大于簡單相加的結果 B.分力之和等于簡單相加 C.共享開發(fā)工具、共享信息 D.共同分擔著開發(fā)失敗的風險
A.5~10nm B.20~30nm C.50~80nm D.100~200nm