集成電路制造工藝員章節(jié)練習(2018.01.12)

單項選擇題
在確定擴散率的測結(jié)深實驗中，結(jié)深的測量是采用HF和（）的混和液對磨斜角進行化學染色的。
A.乙醇
B.HCL
C.H₂SO₄
D.HNO₃
多項選擇題
下列物質(zhì)的等離子體適合用以刻蝕鋁合金中硅的有（）。
A.CF₄
B.BCl₃
C.Cl₂
D.F₂
E.CHF₃
多項選擇題
在對層間絕緣膜進行CMP時，層間絕緣膜的表面會隨下列那些因素產(chǎn)生變化（）。
A.電路圖形結(jié)構的凹凸
B.尺寸大小
C.位置分布
D.高度
E.密集程度
問答題
電子元器件的主要參數(shù)有哪幾項？
答案：電子元器件的主要參數(shù)包括特性參數(shù)、規(guī)格參數(shù)和質(zhì)量參數(shù)。特性參數(shù)用于描述電子元器件在電路中的電氣功能；描述電子元器件的特性...
單項選擇題
晶硅柵極刻蝕最大的挑戰(zhàn)就是對二氧化硅的高選擇性。超薄的（）使得在刻蝕多晶硅電極時對它的刻蝕要盡可能的小。
A.n型摻雜區(qū)
B.P型摻雜區(qū)
C.柵氧化層
D.場氧化層
單項選擇題
在深紫外曝光中，需要使用CA光刻膠，CA的含義是（）。
A.化學增強
B.化學減弱
C.厚度增加
D.厚度減少
單項選擇題
物理氣相沉積簡稱（）。
A.LVD
B.PED
C.CVD
D.PVD
問答題
如何合理選用電烙鐵？
答案：如果有條件，選用恒溫式電烙鐵是比較理想的。對于一般科研、生產(chǎn)，可以根據(jù)不同焊接對象選擇不同功率的普通電烙鐵，通常就能夠滿...
問答題
電子產(chǎn)品的工藝文件有哪些種類？有什么作用？
答案：工藝文件，主要有：
通用工藝規(guī)范：是為了保證正確的操作或工作方法而提出的對生產(chǎn)所有產(chǎn)品或多種產(chǎn)品時均適用的工作...
單項選擇題
dry vacuum pump的意思是（）。
A.擴散泵
B.誰循環(huán)泵
C.干式真空泵
D.路茲泵

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