集成電路制造工藝員章節(jié)練習(xí)(2018.01.08)

單項(xiàng)選擇題
在半導(dǎo)體器件制造中，對清洗用水的純度有比較高的要求，要用經(jīng)過純化的（）作為清潔用水。
A.蒸餾水
B.自來水
C.去離子水
D.礦泉水
多項(xiàng)選擇題
下列有關(guān)曝光系統(tǒng)的說法正確的是（）。
A.投影式同接觸式相比，掩模版的利用率比較高
B.接觸式的分辨率優(yōu)于接近式
C.接近式的分辨率受到衍射的影響
D.投影式曝光系統(tǒng)中不會(huì)產(chǎn)生衍射現(xiàn)象
E.投影式曝光是目前采用的主要曝光系統(tǒng)
單項(xiàng)選擇題
人類的職業(yè)道德真正形成于（）。
A.原始社會(huì)
B.奴隸社會(huì)
C.封建社會(huì)
D.資本主義社會(huì)
問答題
試默寫出色標(biāo)法的色碼定義。黑、棕、紅、橙、黃、綠、藍(lán)、紫、灰、白、金、銀、無色
答案：
色碼識(shí)別定義
多項(xiàng)選擇題
下列有關(guān)ARC工藝的說法正確的是（）。
A.ARC可以是硅的氮化物
B.可用干法刻蝕除去
C.ARC膜可以通過PVD或者CVD的方法形成
D.ARC在刻蝕中也可做為掩蔽層
E.ARC膜也可以通過CVD的方法形成
多項(xiàng)選擇題
從電極的結(jié)構(gòu)看，濺射的方法包括（）。
A.直流濺射
B.交流濺射
C.二級濺射
D.三級濺射
E.四級濺射
問答題
什么叫虛焊？產(chǎn)生虛焊的原因是什么？有何危害？
答案：（1）虛焊使焊點(diǎn)成為有接觸電阻的連接狀態(tài)。
（2）造成虛焊的主要原因是：焊錫質(zhì)量差；助焊劑的還原性不良或用量不...
多項(xiàng)選擇題
屬于鋁的性質(zhì)有（）。
A.電阻低
B.抗電遷移特性好
C.對硅氧化物有很好的黏合性
D.有很高的純度
E.易于光刻
多項(xiàng)選擇題
銅與鋁相比較，其性質(zhì)有（）。
A.銅的電阻率比鋁小
B.鋁的熔點(diǎn)較高
C.鋁的抗電遷移能力較弱
D.銅與硅的接觸電阻較小
E.銅可以在低溫下淀積
單項(xiàng)選擇題
（）方法是大規(guī)模集成電路生產(chǎn)中用來沉積不同金屬的應(yīng)用最為廣泛的技術(shù)。
A.蒸鍍
B.離子注入
C.濺射
D.沉積

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