問答題

【簡答題】試說明氧化生長速率的基本定義及其物理含義，并說明影響氧化生長速率的主要工藝參數(shù)，及他們對生長速率的主要影響。

答案：氧化生長速率是用于描述氧化物在硅片上生長的快慢。當氧化劑的量足夠時，SiO₂生長的快慢最終由氧化劑...

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答案：
F：number/（cm²-s）
C：number/cm³

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答案： Deal-Grove氧化模型（線性－拋物線模型 linear-parabolic model），是可...

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