判斷題

化學機械拋光（CMP）帶來的一個顯著的質量問題是表面微擦痕。小而難以發(fā)現(xiàn)的微擦痕導致淀積的金屬中存在隱藏區(qū)，可能引起同一層金屬之間的斷路。

答案： 正確
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