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【簡答題】我們一般用哪些參數(shù)來評(píng)價(jià)device的特性?
答案:
主要有Idsat、Ioff、Vt、Vbk(breakdown)、Rs、Rc;一般要求Idsat、Vbk (breakdo...
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【簡答題】MOS器件的主要特性是什幺?
答案:
它主要是通過柵極電壓(Vg)來控制源,漏極(S/D)之間電流,實(shí)現(xiàn)其開關(guān)特性。
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問答題
【簡答題】硅化物(salicide)的形成步驟主要可分為哪些?
答案:
①Co(或Ti)+TiN的沉積;
②第一次RTA(快速熱處理)來形成Salicide。
③將未反應(yīng)的...
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