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問答題

【簡答題】金屬化的實(shí)現(xiàn)方法有幾種？請(qǐng)論述真空濺射方法。

答案：

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【簡答題】VLSI對(duì)金屬化的要求是什么？

答案：

【簡答題】PECVD的機(jī)理？PECVD有何優(yōu)勢(shì)？

答案：

機(jī)理：等離子體由中性原子團(tuán)、游離基、分子、離子、少量高能電子組成。
優(yōu)勢(shì)：可以較低溫度下淀積薄膜，常是低溫與低壓結(jié)合

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