問答題

【簡答題】列舉離子注入設備的5個主要子系統(tǒng)。

答案：

1.離子源
2.引出電極和離子分析器
3.加速管
4.掃描系統(tǒng)
5.工藝室
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問答題

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2.很好的雜質均勻性。
3.對雜質穿透深度有很好的控制。
4.產生...
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