名詞解釋

答案：

通過(guò)氧離子注入到硅片，與硅發(fā)生反應(yīng)形成二氧化硅沉淀物，再經(jīng)高溫退火過(guò)程形成SiO₂層，同時(shí)消除注入缺陷。

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答案：稱絕緣層上硅，把器件做在絕緣襯底生長(zhǎng)的硅單晶層上。

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