單項選擇題

利用氣態(tài)化合物(或化合物的混合物)在基體受熱表面發(fā)生化學(xué)反應(yīng),并在該基體表面生成固態(tài)沉積物的技術(shù)稱()。

A、物理氣相沉積(PVD)
B、物理氣相沉積(CVD)
C、化學(xué)氣相沉積(VCD)
D、化學(xué)氣相沉積(CVD)

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