問答題

【簡(jiǎn)答題】為何需要zero layer?

答案:

芯片的工藝由許多不同層次堆棧而成的, 各層次之間以zero layer當(dāng)做對(duì)準(zhǔn)的基準(zhǔn)。

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問答題

【簡(jiǎn)答題】Wafer下線的第一道步驟是形成start oxide 和zero layer? 其中start oxide的目的是為何?

答案:

①不希望有機(jī)成分的光刻膠直接碰觸Si表面。
②在laser刻號(hào)過程中,亦可避免被產(chǎn)生的粉塵污染。

問答題

【簡(jiǎn)答題】一般硅片的制造常以幾P幾M 及光罩層數(shù)(mask layer)來代表硅片工藝的時(shí)間長(zhǎng)短,請(qǐng)問幾P幾M及光罩層數(shù)(mask layer)代表什么意義?

答案: 幾P幾M代表硅片的制造有幾層的Poly(多晶硅)和幾層的metal(金屬導(dǎo)線).一般0.15um 的邏輯產(chǎn)品為1P6M(...
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