填空題

化學(xué)氣相沉積與物理氣相沉積最根本的區(qū)別是在沉積前是否發(fā)生了()。

答案: 化學(xué)反應(yīng)
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答案: 晶體的性質(zhì)
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()主要是沉淀相、晶粒內(nèi)的氣孔和第二相夾雜物等。

答案: 體缺陷
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