填空題

光刻加工技術(shù)主要是針對集成電路制作中得到（）微細(xì)線條所構(gòu)成的（）微細(xì)復(fù)雜圖形。

答案： 高精度；高密度
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答案： 油性液；水溶性液
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答案： 恒溫基數(shù)；恒溫精度
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