問答題

【簡答題】90年代以前，哪些因素影響銅用于IC工藝

答案： 器件尺寸；器件密度；化學機械研磨工藝；多重金屬連線；
鋁金屬的電導率在金屬中排第四，僅次于銀、銅、金。鋁是這四...
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【簡答題】半導體工藝中電介質(zhì)薄膜的應(yīng)用
答案：

（1）作為鈍化保護層
（2）ILD0的摻雜物阻擋層
（3）紫外線可以穿透的保護層
（4）作為ILD材料
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【簡答題】簡述源材料擴散穿過邊界表面時的兩種表面吸附
答案：

化學吸附：襯底表面的原子與吸附的源材料的分子內(nèi)的原子形成化學鍵；
物理吸附：吸附在源材料的表面
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