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10級0.3um
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指每單位體積內可以接受的0.3um顆粒的顆粒數不超過30個
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【簡答題】解釋什么是靜電釋放,并給出在硅片制造中由ESD引起的三種問題及ESD的三中控制方法。
答案:
ESD是指靜電荷從一個物體向另一個物體末經控制地轉移。
ESD的危害性:
會使硅表面形成電荷積累,吸...
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