問答題

【簡答題】敘述從硅砂到單晶硅棒和多晶硅錠的主要步驟及其相關制備工藝名稱。

答案： （1）使用電爐用炭將硅砂還原為冶金級硅；
（2）冶金級硅提純?yōu)榘雽w級硅：西門子法和ASiMi法（硅烷法）；<...
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問答題

【簡答題】簡述非晶氫化氮化硅（α-SiNx：H）薄膜的優(yōu)點及其制備工藝。
答案： （1）H原子對硅材料中的體缺陷和晶界起到鈍化作用，降低表面復合速度，進而提高VOC和ISC。
（2）氮化硅還有...
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