問答題

【簡答題】試述曝光時間對設(shè)計的圖形的影響。

答案：曝光時間對設(shè)計圖形的影響主要是：若曝光時間較長，對于正性光刻膠則得到的圖形實際尺寸比預(yù)先設(shè)計的可能要?。粚τ谪撔怨饪棠z情...

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【簡答題】簡述光刻工藝步驟。

答案：涂光刻膠，曝光，顯影，腐蝕，去光刻膠。