問答題

【論述題】根據曝光方式的不同，光學光刻機可以分成幾類？各有什么優(yōu)缺點？

答案： 根據曝光方式不同光學光刻機主要分為三種：接觸式，接近式，投影式。接觸式：接觸式光刻機是最簡單的光刻機，曝光時，掩模壓在涂...
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問答題

【論述題】在干法刻蝕的終點檢測方法中，光學放射頻譜分析法最常見，簡述其工作原理和優(yōu)缺點。
答案： 光學放射頻譜分析是利用檢測等離子體中某種波長的光線強度變化來達到終點檢測的目的。光強的變化反映了等離子體中原子或分子濃度...
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