填空題

壓電驅(qū)動(dòng)技術(shù)是（）和（）在機(jī)械領(lǐng)域的應(yīng)用。

答案：壓電學(xué)；超聲學(xué)

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CIMS分成五個(gè)層次，即（）、（）、（）、（）和設(shè)備級(jí)。

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CIMS的三大特征分別為（）、（）、（）。

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