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問(wèn)答題
【簡(jiǎn)答題】簡(jiǎn)述側(cè)墻工藝目的。
答案：
側(cè)墻用來(lái)環(huán)繞多晶硅柵側(cè)壁阻擋大劑量的S/D注入以免其接近溝道導(dǎo)致源漏穿通。
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