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判斷題

離子束曝光，即用在大規(guī)模集成電路制作中，與電子束相比有更高的靈敏度和分辨率。

答案：正確

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由于加工時的金屬蒸汽會影響電子和離子發(fā)射，產(chǎn)生不穩(wěn)定現(xiàn)象，所以在加工過程中，需要利用真空吸力，不斷地把所產(chǎn)生的金屬蒸汽抽出去。

答案：正確

只有在較高的真空條件中，電子和離子才能高速運動。

答案：正確

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