半導體材料問答題每日一練(2020.04.17)

擴散和離子注入

整形處理，切片，磨片和倒角，刻蝕，拋光，清洗，硅片評估，包裝。

凈化間的舞廳式布局為大的制造間具有10000級的級別，層流工作臺則提供一個100級的生產(chǎn)環(huán)境。

光刻就是將掩膜版（光刻版）上的幾何圖形轉(zhuǎn)移到覆蓋在半導體襯底表面的對光輻照敏感的薄膜材料（光刻膠）上去的工藝過程。