A.微進(jìn)給 B.誤差補(bǔ)償 C.精密調(diào)整 D.精加工 E.拋光
A.激光器 B.光學(xué)系統(tǒng) C.機(jī)械系統(tǒng) D.控制系統(tǒng) E.加溫系統(tǒng)
A.超精密加工機(jī)理與工藝方法 B.超精密加工機(jī)床設(shè)備 C.超精密加工工具 D.測量補(bǔ)償 E.誤差補(bǔ)償
A.塵埃微粒 B.溫度 C.壓力 D.流速 E.氣流
A.恒溫 B.恒濕 C.防振 D.超凈 E.噪聲