半導體芯片制造工半導體制造技術(shù)問答題每日一練(2019.01.23)

問答題
分別畫出單大馬士革和雙大馬士革工藝流程圖。
答案：
問答題
簡述RTP設備的工作原理，相對于傳統(tǒng)高溫爐管它有什么優(yōu)勢？
答案：RTP工藝是一類單片熱處理工藝，其目的是通過縮短熱處理時間和溫度或只縮短熱處理時間來獲得最小的工藝熱預算（Thermal...
問答題
Si-SiO2界面電荷有哪幾種？簡述其來源及處理辦法。
答案：可動離子電荷Q_m來源：主要來源于Na+等網(wǎng)絡改變者。解決辦法：為了降低Na+的玷污，可以在工藝過程...
問答題
集成電路制造中有哪幾種常見的擴散工藝？各有什么優(yōu)缺點？
答案：擴散工藝分類：按原始雜質(zhì)源在室溫下的相態(tài)分類，可分為固態(tài)源擴散，液態(tài)源擴散和氣態(tài)源擴散。固態(tài)源擴散（1）.開管擴散...
問答題
簡述雜質(zhì)在SiO2的存在形式及如何調(diào)節(jié)SiO2的物理性質(zhì)。
答案：熱氧化層中可能存在各種雜質(zhì)，某些最常見的雜質(zhì)是與水有關的化合物，其結(jié)構(gòu)如圖所示。如果氧化層在生長中有水存在，一種可能發(fā)生...